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近日,成都联江科技有限公司在光刻设备领域取得重大突破,其自主研发的‘光刻物镜和光刻设备’获得国家专利授权,填补了国内高端光刻设备领域的技术空白。该专利采用创新的光学系统设计,通过精密排列20块光学透镜,实现了光刻物镜曝光视场面积达到72mm×72mm,同时将分辨率控制在780nm以下,显著提升了光刻设备的性能和效率。这一突破标志着我国在高端光刻技术领域迈出了重要一步,为半导体制造行业提供了更为先进的解决方案。
作为一家专注于科技推广和应用服务的企业,成都联江科技有限公司自2019年成立以来,始终致力于光学系统技术的创新与研发。此次专利授权不仅彰显了公司在光刻设备领域的技术实力,也为其在半导体制造、AI辅助设计等领域的应用奠定了坚实基础。
这一技术突破不仅为国内光刻设备行业注入了新活力,也为全球半导体制造提供了更高效的解决方案。未来,随着AI技术的进一步发展,光刻设备的智能化和自动化水平将进一步提升,为推动我国半导体产业的高质量发展贡献力量。
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